精密平台：
     CAX系列X-Y精密平台选用高强度铝合金，经应力消除处理后再经摄氏196度之超深冷处理，可保证长期使用仍保有良好之精密度。工作台内部和进给机构装有5年或20000公里免维护的精密级直线导轨和C3级滚珠丝杠，既保持了原来的性能又实现了长期免维护。实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量，该结构承受力矩及复合负荷较强。采用AC400W伺服马达，全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。X-Y轴的平台220mm有效行程专业为8吋晶元设计。
型号表示：
CAX15R220-Y220P10-S1-M
（1）CAX15：CAX平台底座宽度150mm；
（2）R220：X轴有效行程220mm；
（3）Y220：Y轴有效行程220mm；
（4）10：滚珠丝杆的导程分为5mm和10mm；
（5）S1：SX671型极限开关，S2：SX674型极限开关；
（6）M：AC400W伺服马达；可客制化。

尊敬的客户们：
    欢迎您浏览本司网站，如果你对此产品感兴趣的话，我司还有很多和这个产品有相关性的介绍，还可以拨打本司服务专线了解更多产品的详细信息，我们将竭尽全力的为您服务。
   您好，本企业坚持以品质立业，以诚信守业，以更坚定的步伐不断攀登新的高峰，欢迎顾客们放心选购，我公司主要产品还有：磁栅尺、光栅尺、运动控制卡等。